ソニーは、産業機器向けに、業界最小となる5μm画素を実現して小型化を進め、可視光から非可視光である短波長赤外(SWIR:Short-Wavelength InfraRed)までの撮像を可能としたSWIRイメージセンサー2タイプ「IMX990」「IMX991」を商品化した。

※トップ画面は、SWIRイメージセンサー「IMX990」。左はセラミックLGAパッケージ。右は電子冷却素子に内蔵セラミックPGAパッケージ

「IMX990」
1/2型(対角8.2mm)有効134万画素 SWIRイメージセンサー

電子冷却素子内蔵セラミックPGAパッケージ
2020年7月サンプル出荷予定
価格¥900,000(税別)

セラミックLGAパッケージ
2020年6月サンプル出荷予定
価格¥800,000(税別)

「IMX991」
1/4型(対角4.1mm)有効約34万画素SWIRイメージセンサー

電子冷却素子内蔵セラミックPGAパッケージ
2020年7月サンプル出荷予定
価格¥500,000(税別)

セラミックLGAパッケージ
2020年6月サンプル出荷予定
価格¥400,000(税別)

 本製品は、化合物半導体のInGaAs(インジウム・ガリウム・ヒ素)層でフォトダイオードを形成し、読出し回路を形成したSi(シリコン)層とCu-Cu(カッパー・カッパー)接続することで、広帯域・高感度を実現した独自のSWIRイメージセンサー技術“SenSWIR(センスワイア)”を採用しているのが特徴。

 結果、小型でありながら、可視光から非可視光である短波長赤外までの広帯域(波長:0.4μm~1.7μm)な撮像が可能なSWIRイメージセンサーが完成した。

 従来は、可視光用とSWIR用の2台のカメラが必要だった検査工程を1台でまかなえることで、省システムや低コスト化が図れる、と謳っている。

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